В полупроводниковой промышленности детекторы утечек масс-спектрометрии гелия полагаются на сверхвысокую чувствительность (до 10⁻¹³ Pa·m³/s) и возможности количественного тестирования, которые стали ключевыми инструментами тестирования для обеспечения надежной работы оборудования, стабильности процесса, выхода продукции, безопасности производства и соответствия экологическим нормам, охватывая все аспекты производства и упаковки полупроводников, и их можно назвать незаменимым хранителем качества в современной полупроводниковой индустрии.

1. Обнаружение утечек вакуумной системы оборудования для производства полупроводников (Fab Equipment).

В производстве полупроводников вакуумные системы имеют решающее значение, и датчики утечек гелия с масс-спектрометрией могут точно обнаруживать потенциальные проблемы и избегать множества негативных последствий:

1. Проблемы, связанные с газом: отходы газа могут привести к росту затрат, а дисбаланс в соотношении технологических газов — к сбою процесса.

2. Риски для безопасности и окружающей среды: Предотвращайте утечку токсичных, горючих и взрывоопасных газов, чтобы избежать серьёзных рисков для безопасности и экологических опасностей.

3. Стабильность процесса: нарушение уровня вакуума приведёт к изменениям парциального давления газа и нестабильности плазмы, что, в свою очередь, приведёт к нестабильности процесса.

4. Качество пластины: Введение загрязнителей (таких как кислород, водяной пар, углеводороды) окисляет и загрязняет поверхность пластины, ухудшает свойства пленки (такие как изменения сопротивления, аномалии напряжения, плохая адгезия) и серьёзно снижает выход.

5. Техническое обслуживание оборудования: Увеличение частоты и стоимости обслуживания, например, увеличение нагрузки на вакуумный насос и ускоренное потребление расходных материалов.

Основные сценарии приложений

1. Вакуумная камера: Почти всё ключевое технологическое оборудование, такое как литографические машины, травильные машины, физическое осаждение паров, химическое паровое осаждение, имплантация ионов, молекулярная эпитаксия, осаждение атомного слоя и др., должно работать в условиях высокого или ультравысокого вакуума. Любая незначительная утечка может привести к вышеуказанным серьёзным проблемам.

2. Вакуумные трубопроводы и клапаны: Соединительные полости, вакуумные насосы, трубы, фланцы, клапаны, мехи и другие точки соединения, а также движущиеся части газовых систем являются частыми потенциальными точками утечек.

3. Система подачи газа: трубопроводы, соединения, регуляторы массового потока, клапанные коробки и т.д., которые доставляют в камеру процесс высококачественные, высокореактивные или высокотоксичные специальные газы (такие как силан, фосфор, мышьяк, хлор, фтор, водород и др.). Обнаружение гелия позволяет точно обнаруживать небольшие утечки и предотвращать утечки газа от различных проблем.

4. Система охлаждающей воды (некоторые применения): Некоторые полости или компоненты оборудования требуют водяного охлаждения. Хотя обнаружение утечек давления в основном применяется, обнаружение гелия позволяет обнаруживать утечки из водяной охлаждаемой трубы на вакуумную сторону или поступление газа с вакуумной стороны для обеспечения высокой надёжности или встроенных каналов охлаждения (например, электростатических патронов). Протечки в трубах с водяным охлаждением。

2. Производство компонентов и подсистем и приёмочные испытания

1. Поставщик оборудования/OEM: Перед выездом оборудования с завода все ключевые вакуумные компоненты, камерные модули, газовые панели и т. д. тщательно проверяются для обеспечения соблюдения требований по герметизации.

2. Поставщики запчастей: поставщики уплотнений (таких как металлические герметичные кольца, уплотнительные кольца), клапанов, вакуумометров, вакуумных насосов, пластин стенок полости, окон, проводных систем и т. д. для заводов оборудования, Тестирование на гелий необходимо применять, чтобы убедиться, что герметичные характеристики продукта соответствуют при его покидании с завода.

3. Установка, техническое обслуживание и устранение неисправностей оборудования

1. Установка и приемка: после установки нового оборудования требуется комплексная проверка на гелий для проверки соответствия всей системы требованиям.

2. Профилактическое обслуживание: Регулярно проводите гелийные проверки оборудования для выявления возможных мелких утечек заранее, чтобы избежать простоев и выбросов пластин, вызванных внезапными утечками во время эксплуатации процесса.

3. Устранение неисправностей: При возникновении таких проблем, как падение вакуума и нарушения процесса, гелиевая инспекция является самым эффективным инструментом для быстрого и точного обнаружения протечек, что может сократить время обслуживания.

4. Упаковка и тестирование полупроводников

1. Тщательный контроль (прямой тест после герметизации): упаковка помещается в вакуумную камеру, а гелий распыляется снаружи, чтобы определить, попадает ли гелий в упаковку через точку утечки и фиксируется ли инструментом, что подходит для ситуации, когда местоположение точки утечки известно или подозревается.

2. Тщательный осмотр (метод обратного давления): он будет полностью герметичен Упаковка помещается в среду с гелием высокого давления на определённое время, и если происходит утечка, гелий просачивается внутрь. После извлечения его помещают в вакуумную камеру для обнаружения количества гелия, выходящего изнутри упаковки, и рассчитать общий уровень утечки. Этот метод чаще всего используется для измерения общих протечек.

3. Обнаружение утечек при герметической установке: Для устройств, требующих высокой надёжности (например, аэрокосмические, военные, автомобильная электроника и некоторые высококлассные потребительские устройства), чип должен быть запечатан в металлической, керамической или стеклянной упаковке для изоляции внешней влаги и загрязнителей. Детекторы утечек гелиевой масс-спектрометрии являются золотым стандартом для тестирования скорости утечек в таких типах газовых уплотнений. Распространённые методы включают обнаружение утечки в полости/крышке упаковки (в процессе упаковки также необходимо обнаружить саму полость, используемую для склеивания или колпачки) и обнаружение протечек в корпусе полупроводникового керамического микрочипа.

5. Проверка качества материалов и сварки

1. Выявить наличие пористости, трещин и других дефектов в металлических материалах, таких как стенки полости, трубы и фланцы.

2. Проверьте целостность уплотнения сварных швов, особенно вакуумных.

6. Основная ценность Anhui Gebo Technology, пионера в области локализации

В условиях автономии оборудования для тестирования полупроводников компания Anhui Gebo Technology Co., Ltd. нарушает международный монополию своим собственно разработанным детектором утечек гелия масс-спектрометрии и предлагает экономичные решения для отрасли:

1. Точный бенчмаркинг крайне строгих стандартов для полупроводников: чувствительность продукта до 10⁻¹³ Уровень Pa·m³/s для удовлетворения потребностей тестирования фабрик пластин, таких как вакуумные камеры, специальные газопроводы и современная упаковка.

2. Преимущества локального обслуживания: быстрая реакция на отладку оборудования, регулярную калибровку и устранение неполадок, что значительно снижает риск простоя на производственной линии.

3. Инновационные технологические прорывы: Запатентованная вакуумная система обладает сильными противозагрязняющими свойствами, а интеллектуальные алгоритмы повышают эффективность обнаружения микроутечек.

4. Индивидуальные возможности разработки: поддержка интеграции с системами AMHS и MES, предоставляя модульные решения для обнаружения утечек для производителей полупроводникового оборудования и OEM-производителей.

7. Причина, по которой детектор утечки гелия с масс-спектрометрией незаменим в полупроводниковой промышленности

1. Сверхвысокая чувствительность: он может обнаруживать крайне небольшие утечки, которые невозможно обнаружить другими методами (например, метод спада давления, метод пузыря), что соответствует строгим требованиям к скорости утечки полупроводникового оборудования (обычно требуется в порядке 10⁻⁹ Па·м³/с или даже ниже).

2. Количественное измерение: Не только можно обнаружить утечки, но и точно измерить их скорость, что служит основой для оценки рисков и решений по обслуживанию.

3. Точное позиционирование: с помощью метода распылителя можно точно определить физическое положение точки утечки.

4. Неразрушительное испытание: Нет повреждений устройства или системы, находящейся в тесте.

5. Безопасный в использовании: гелий — инертный газ, нетоксичен, негорючий и безопасен в использовании.

6. Низкий фон: содержание гелия в воздухе чрезвычайно низкое (около 5 ppm), фоновые помехи низкие, а результаты обнаружения надёжны.

Короче говоря, детекторы утечки гелия масс-спектрометрии проникают во все сферы полупроводниковой промышленности — от проектирования и производства оборудования, установки и обслуживания оборудования до финального герметического тестирования микросхемы. Gebo Technology защищает «ядро» производства Китая с помощью передовых технологий обнаружения утечек, чтобы каждая утечка на молекулярном уровне была под контролем!