В результате анализа обнаружения утечки методом распыления можно найти два способа снижения эффективной минимальной скорости обнаружения утечки: первый — увеличение концентрации гелия в отверстии утечки γHe, Даже γОн→1; Другой способ — увеличить время распыления. Если γHe=1, то t=3τ (время реакции).Тогда эффективная минимальная обнаруживаемая скорость утечек практически близка к минимально обнаруживаемой утечке прибора. Однако время распыления t и эффективность обнаружения утечек — это пара противоречий, и значительное увеличение t означает значительное снижение эффективности обнаружения утечек, зачастую даже на несколько дней Проверка устройства занимает десятки дней, что не разрешено в реальном производстве. Чтобы разрешить это противоречие, люди выдвигают идею, что если все подозрительные части устройства можно покрыть гелиевым покрытием, то гелиевое покрытие будет заполнено чистым гелиемЭто эквивалентно использованию множества сопел для одновременного распыления гелия на бесчисленные подозрительные участки, что, несомненно, значительно ускорит обнаружение утечек. В то же время, благодаря увеличению концентрации гелия и увеличению времени впрыска гелия, эффективная минимальная скорость обнаружения утечки также снижается, что называется «методом маски гелия» “。

Система обнаружения утечек с помощью гелиевого покрытия показана на рисунке. При обнаружении протечек используйте вспомогательный насос для опорожнения контейнера, закрыть вспомогательный клапан и открыть клапан обнаружения утечки, чтобы контейнер для тестирования и уже перекаченный масс-спектрометрический детектор утечки до максимального вакуума Камера масс-спектрометрии соединена. Когда инструмент достигает рабочего давления, он находится в состоянии обнаружения утечки, и используется гелиевая крышка (часто пластиковая плёнка) Оберните подозрительную часть контейнера для осмотра (для небольших устройств оберните всё гелиевой крышкой), затем сначала выведите воздух из капюшона (иногда выводится насосом), а затем наполните её гелием Ци, которая может сделать γХэ→1. В этот момент, если выход прибора показывает утечку воздуха в части, покрытой гелиевым экраном, если она увеличивается. Скорость утечки, указанная инструментом, равна общей скорости утечки площади, покрытой гелиевым покрытием. Преимущество этого метода — высокая чувствительность, а эффективная минимальная скорость обнаружения утечек практически равна минимальному обнаруживаемому утечку прибора, что подходит для общего осмотра. Его недостаток в том, что он может измерить только общую скорость утечки покрытой площади, а местоположение отверстия невозможно определить. Поэтому этот метод используется для определения общей скорости утечки, и если общая скорость утечки превышает допустимый диапазон, точное расположение отверстия определяется локальным гелиевым покрытием или методом распыления.