氦质谱检漏仪背压法优缺点

氦质谱检漏仪背压法优缺点


背压法适用于那些行业?背压法主要用于检漏各种电子元器件。

采用背压法进行泄漏检测时,首先将被检测产品放入高压氦气室中,浸泡数小时或数天。如果被检测产品表面有漏孔,氦将通过漏孔压入被检测产品的内部密封腔,从而增加内部密封腔内的氦分压。然后取出被检测产品,将表面残留的氦气吹出,然后将被检测产品放入与检漏仪连接的真空容器中。被检测产品密封腔内的氦气将通过漏孔泄漏到真空容器,然后进入氦质谱检漏仪,以测量被检测产品的总泄漏率。检漏仪给出的泄漏率值为测量泄漏率,需要通过转换公式计算被检测产品的等效标准泄漏率。


背压法的优缺点

背压法的优点是检测灵敏度高,可实现小型密封容器产品的泄漏检测,可批量检测。


背压法的缺点是大型密封容器不能泄漏,否则由于密封腔体积过大,加压时间过长。此外,每个测量泄漏率对应两个等效标准泄漏率。仔细检查后,需要采用其他方法进行粗略检查,以消除大泄漏的可能性。