为什么要使用氦质谱检漏仪检漏?

为什么要检漏?

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许多情况下,咱们需求密封住必定的空间,避免气体或液体在压力的作用下,流进或流出这个空间。如真空设备(真空镀膜机,液晶注入机,PVD,半导体外延等等),需求在真空条件下作业,要求在作业时,空气不能漏进作业腔体,否则出产不能进行,或许发生次品,糟蹋人力物力。别的装液体或气体的容器(液压气瓶,氧气瓶,空调冰箱中的雪种容器等等),要求在容器表里存在压差的情况下,不能有气体或液体漏出。如果有漏,后果严重,一般会造成有效物资的糟蹋,如有毒物资、腐蚀性气体漏出,甚至会变成事端。这些对密封性有要求的产品或设备,在投入运用前,就要先进行检漏,运用中也要定时进行检漏查看。