氦质谱检漏仪的常用氦质谱检漏方法

歌博科技氦质谱检漏仪的常用氦质谱检漏方法

一，喷氦法

被检件与氦质谱检漏仪相连，用检漏仪的真空系统对被检件的腔体抽真空，在被检件外喷氦气，若有漏孔，氦气通过漏孔进入检漏仪被检测而显示有漏。由于检漏仪的响应很快（一般短于3秒），在漏率显示突然增高的一刻的喷氦位置就是漏孔的位置。大容积试件的抽空检漏，被检试件的容积较小时，可以直接连到检漏仪，抽空检漏。但是当试件容积太大（100立升以上）时，由于表面积大，放气多，也可能有大漏，单靠检漏仪自身的排气系统，可能长时间抽不到可以转入检漏的真空。这种情况，常外接一辅助真空系统。

二，背压法

所谓背压法，是指被检试件充满氦气，或以某种方式注入氦气，然后放入一个与检漏仪相连，可抽空的真空箱内，试件若有泄漏，漏出的氦气直接进入检漏仪，而被检测。被压法检测的是总漏率，它不能确定漏孔位置。

三，吸入法

被检件充入高于大气压的探索气氦，检漏仪的检漏口连接称之为吸枪的气体采集器。当试件有漏时，泄漏的氦气被吸枪吸入检漏仪，而被检测。吸枪在试件表面移动，同时注视检漏仪漏率指示的变化，一旦泄漏增加，吸枪所指位置即漏点所在。因此吸枪法也是能确定漏孔的检漏方法。氦质谱检漏仪

四，真空箱法

真空箱用不锈钢制作，内表面有高的光洁度，可减少氦吸附。真空箱检漏法特别试用于被检试件内部结构复杂、放气量大、试件批量大、漏率要求严格和检漏节拍快等场合（如制冷压缩机、阀、歧管等）,是工业规模生产最常用的检漏方法。