氦质谱检漏仪的发展历史介绍

通过近半个世纪的努力，今日的氦质谱检漏仪已告别了四十年代初期的情形。会集体现在如下几个方面：

（1）便携式：Z近各国推出的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高，并且便于带着，给野外作业和高空作业供给了比较大的便利。

（2）高压强下检漏：检漏口压强可高达数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有利。

（3）主动化程度高：主动校准氦峰，主动调节零点，量程主动转化，主动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜单挑选功能，一个按钮即可完成一次的全检漏进程。

（4）全无油的干式检漏：有些国家出产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的作用，为无油系统及芯片等半导体器材的检漏，供给了有利条件。

（5）检漏范围宽：现今出产的四极检漏仪，质量范围很宽，不仅可检测氦气，并且能检测其它气体。