如何使用氦气检漏系统协助判断真空系统是否漏气

真空体系漏气的判断，实际的真空体系达不到预定的极限真空，原因有三个：

(1)材料放气

(2)泵的工作不正常

(3)真空体系漏气

真空体系漏气的原因

真体系漏气是由各式各样的细小缝隙形成的。(如玻璃真空体系中烧结的当地夹有脏物细小的炸裂；金属真空体系中的焊缝，可拆卸部位；电真空器件多半在金属和玻璃封接，金属陶瓷封接的当地等等)真空体系的漏气不是肉眼能够判断的，所我们能够经过将真空体系抽气，到达必定压强后，关闭阀门，让体系与泵隔断，然后丈量压强的改变。经过压强改变的曲线来区分是哪种原因形成真空体系达不到极限压强。以有必要凭借必定的办法来判断真空体系是否漏气。

(1)a压强坚持本来的值不变。说明容器既不漏气亦不放气。

(2)b压强开端上升很快后来出现饱和状。说明主要是放气。

(3)c压强直线上升，说明主要是漏气。

(4)d压强开端上升的很快，后来变得较，但不出现饱和的状况，这是上述两种状况的归纳，即同时存在放气和漏气。

判定了真空体系漏气后，就能够着手寻找漏孔地点的位置，以及漏孔的巨细。

漏孔的巨细不是几许尺度，真空体系中存在的漏孔一般很小，形状也很复杂，很难用漏孔的几许尺度来表达。漏孔的实质便是漏气。

漏孔的巨细：一般我们用漏气率来表达。如几个漏孔巨细截面能够不同，但只需漏率（漏气速率）相等，就认为是完全相同的漏气速率：一般采用室温下（20℃），外部为大气压强1.0133*105帕时刻单位干燥空气流过漏孔向真空容器漏入的气体量来表达：               Q0=V · △P/△t

漏率的单位有托升/秒，毫托升/秒，半导体工艺中常用大气压毫升/秒，冷冻工程常用毫克/年。目前压强单位已逐渐改为帕，相应的漏率单位为帕·米3/秒。

漏气率巨细的决定因素有：

（1)漏孔的几许尺度

（2)容器外部的压强

（3)气体的品种

（4)温度以及气体在漏孔中的活动状态等

氦质谱检漏仪能为不同的使用提供广泛的测验办法，含有涡轮分子泵、内置机械泵、外置机械泵、光谱、仪管、阀组、检漏仪电子元件和操作页面，以及可选功能组件。氦质谱检漏仪在许多范畴里得到广泛的使用,例如,在航空航天范畴里宇宙飞船、航天飞机、火箭、卫星、飞机等这些都要用到真空检漏技术。